Физические измерения в микроэлектронике

Пилипенко В.А. и др.

Table of contents :
Физические измерения в микроэлектронике……Page 1
Предисловие……Page 4
Глава 1. Оптические методы контроля……Page 6
1.1. Метод фотоупругости……Page 7
1.2. Эллипсометрия……Page 13
1.3. Спектрофотометрия……Page 29
1.4. Оптическая микроскопия……Page 44
1.5. Тепловизионная пирометрия……Page 56
Глава 2. Электрофизические методы контроля……Page 64
2.1. Зондовые методы измерений……Page 65
2.2. Метод ЭДС холла……Page 81
2.3. Вольт-фарадные характеристики барьера Шоттки……Page 87
2.4.Волт-фарадные характеристики моп-структур……Page 92
2.5. Определение времени жизни неосновных носителей заряда……Page 113
2.6. Контроль вольт-амперных характеристик……Page 116
Глава 3. Методы элементного, фазового и структурного анализа твердотельных материалов……Page 121
3.1. Электронная микроскопия……Page 122
3.2. Растровая электронная микроскопия……Page 136
3.3 Оже-электронная спектроскопия……Page 143
3.4. Вторичная ионная масс-спектроскопия……Page 151
3.5. Рентгеноструктурный анализ……Page 156
3.6. Обратное резерфордовское рассеяние……Page 166
Список условных сокращений……Page 171
Содержание……Page 172