Вакуумная техника: средства откачки, их выбор и применение. Учебное пособие

В.И.Курашов, М.Г.Фомина.5-7882-0022-9

Рассмотрены проблемы выбора высоковакуумного оборудования, исходя из его основных технических и эксплуатационных характеристик, для различных вакуумно-технологических процессов.Предназначено для студентов специальности , аспирантов, соискателей, инженеров и исследователей, использующих в своей работе высоковакуумное оборудование.