Физические основы микроэлектроники

Епифанов Г. И.

В книге рассмотрены: 1) элементы квантовой механики и статистической физики; 2) основы физики твердого тела, контактные и поверхностные явления в твердом теле, необходимые при изучении курса микроэлектроники. Книга является учебным пособием по курсу , предназначенным для студентов специальности . Она будет полезной и студентам других специальностей, а также аспирантам н инженерам, работающим в электронной и радиотехнической промышленности.