Объекто-ориентированное сканирование для зондовой микроскопии и нанотехнологии

Лапшин Р.В.

Table of contents :
ТИТУЛЬНЫЙ ЛИСТ……Page 1
СОДЕРЖАНИЕ……Page 3
Актуальность работы……Page 5
Цель работы……Page 6
Научная новизна……Page 7
Положения и результаты, выносимые на защиту……Page 8
Глава 1……Page 9
Глава 3……Page 11
Заключение……Page 12
1.1. Сравнительный анализ систем и методов точного позиционирования……Page 13
1.2. Ключевая идея метода……Page 16
1.3. Базовые понятия и определения……Page 17
1.4. Способы распознавания. Итеративное распознавание особенностей……Page 18
1.5. Алгоритм сканирования: принцип работы и основные процедуры……Page 23
1.5.1. Процедура привязки зонда к атому поверхности……Page 25
1.5.2. Процедура сканирования апертуры и распознавания ближайших соседей……Page 26
1.5.3. Локальное связывание: процедура определения следующего атома цепочки……Page 28
1.5.4. Скиппинг: процедура измерения разностей и сегментов……Page 32
1.6. Распределённая калибровка сканера микроскопа……Page 36
1.7. Визуализация результатов: стилизёр и сборщик поверхности……Page 42
1.8. Специфика сканирования разупорядоченной поверхности. Прямое распознавание особенностей……Page 43
2.1. Перемещение зонда по сетке особенностей в поле точного манипулятора. Маршрутизатор……Page 52
2.2. Перемещение зонда в поле грубого манипулятора……Page 53
2.2.1. Связанное движение точного и грубого манипуляторов……Page 55
2.2.2. Возможные погрешности и способы их устранения……Page 58
2.3. Автоматический возврат зонда микроскопа в операционную зону……Page 59
2.4. Автоматическое определение взаимного положения зондов в многозондовых микроскопах……Page 60
Глава 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ……Page 62
3.1. Объектно-ориентированное сканирование атомного рельефа поверхности графита……Page 64
3.2. Объектно-ориентированное сканирование атомного рельефа поверхности графита с высоким разрешением……Page 65
3.3. Высокоточные измерения постоянных решётки и кристаллографических направлений на поверхности графита……Page 66
3.4. Оперативное позиционирование на атомной поверхности графита. Оценка нелинейности сканера……Page 67
3.5. Точно локализованная туннельная спектроскопия с малым уровнем шума……Page 68
3.6. Определение дрейфа микроскопа……Page 69
3.7. Объектно-ориентированное сканирование разупорядоченных поверхностей электрохимически полированного алюминия и осаждённой из плазмы плёнки углерода……Page 70
3.8. Оценка накопленной погрешности……Page 79
ЗАКЛЮЧЕНИЕ……Page 82
ЛИТЕРАТУРА……Page 91
Акт внедрения……Page 103
Акт внедрения……Page 104
Акт внедрения……Page 105
Патент РФ на изобретение № 2175761……Page 106
Патент РФ на изобретение № 2181212……Page 107
Патент РФ на изобретение № 2181218……Page 108