Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов

Free Download

Authors:

Edition: Кандидатская диссертация

Size: 8 MB (8688135 bytes)

Pages: 161/161

File format:

Language:

Publishing Year:

Direct Download: Coming soon..
Download link:
Sign in to view hidden content.
Category: Tags: , , ,

Шевчук С.Л.

Настоящая диссертация посвящена проблеме развития метода реактивного ионно-лучевого синтеза (РИЛС) тонких пленок непосредственно из широких низкоэнергетичных пучков ионов высокой интенсивности, формируемых ионным источником (ИИ) с замкнутым дрейфом электронов.

Reviews

There are no reviews yet.

Be the first to review “Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов”

Related products

Shopping Cart
Scroll to Top